Palette Cantilevers en carbure de silicium
Produit détaillé et application
La palette / poutre en porte-à-faux en carbure de silicium SiSiC / SiC à grande force de chargement de plaquette convient à un système de chargement et de manutention automatique de robot car elle présente des performances stables, une non-déformation à haute température et une grande force de chargement de plaquette. Etant donné que la section de la palette en porte-à-faux est stable sans déformation, il est possible de fabriquer une tranche de plus grande taille en utilisant des tubes de four existants. La palette / poutre en porte-à-faux en carbure de silicium SiSiC / SiC à grande force de chargement de plaquette peut être appliquée au LPVCD sur la base de son coefficient de dilatation thermique similaire avec revêtement LPVCD, ce qui prolonge considérablement le cycle de maintenance et de nettoyage et réduit considérablement les polluants.
Paramètres techniques du carbure de silicium lié par réaction RBSIC:
| Objet | unité | Les données |
| Température d'application | ℃ | 1380 |
| densité | G / cm3 | > = 3,02 |
| Porosité ouverte | % | <0,1 |
| Échelle de dureté de Moh | 13 | |
| Résistance à la flexion | Mpa | 250 (20 ℃) |
| Mpa | 280 (1200 ℃) | |
| Module d'élasticité | Gpa | 330 (20 pouces) |
| Gpa | 300 (1 200 ℃) | |
| Conductivité thermique | W / mk | 45 (1 200 ℃) |
| Coefficient de dilatation thermique | K-1 * 10-6 | 4,5 |
| Résistant aux acides alcalin | Excellent |
Caractéristiques:
une. Il ne se déforme pas à haute température et la force de chargement de la plaquette est importante;
b. Excellente résistance aux chocs thermiques et longue durée de vie;
c. Le coefficient de dilatation thermique de la palette en porte-à-faux est extrêmement faible, ce qui prolonge considérablement le cycle d'entretien et de nettoyage;
et réduire drastiquement les polluants
Autres meubles de four en céramique de carbure de silicium
Outre la palette en porte-à-faux SiSiC en carbure de silicium fritté Reaction pour le chargement de plaquettes, nous produisons également d'autres meubles de four, notamment des poutres en carbure de silicium RBSIC / SISIC, des tubes de buse, un tube de buse en spirale, un tube de buse à turbulence, des plaques de carbure de silicium SIC liées à l'oxyde / plaque de réglage et des tuyaux de refroidissement RBSIC .
Produits en carbure de silicium RBSIC / SISIC résistants à l'usure
Parce que notre produit en carbure de silicium RBSIC / SISIC présente les avantages d'une excellente résistance à l'usure, à la corrosion et à une longue durée de vie, il peut également être transformé en revêtements résistants à l'usure qui peuvent être facilement installés dans des tuyaux de traitement ou des cyclones.
